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掩模對(duì)準(zhǔn)光刻系統(tǒng)包括光復(fù)印和刻蝕工藝兩個(gè)主要方面

更新時(shí)間:2022-11-17  |  點(diǎn)擊率:983
  掩模對(duì)準(zhǔn)光刻系統(tǒng)與我們的生活息息相關(guān),我們用的手機(jī),電腦等各種各樣的電子產(chǎn)品,里面的芯片制作離不開(kāi)光科技束。如今的世界是一個(gè)信息社會(huì),各種各樣的信息流在世界流動(dòng)。而光刻系統(tǒng)是保證制造承載信息的載體。在社會(huì)上擁有不可替代的作用。
 

 

  光刻系統(tǒng)的技術(shù)原理:
  掩模對(duì)準(zhǔn)光刻就是把芯片制作所需要的線路與功能區(qū)做出來(lái)。利用光刻機(jī)發(fā)出的光通過(guò)具有圖形的光罩對(duì)涂有光刻膠的薄片曝光,光刻膠見(jiàn)光后會(huì)發(fā)生性質(zhì)變化,從而使光罩上得圖形復(fù)印到薄片上,從而使薄片具有電子線路圖的作用。
  這就是光刻的作用,類(lèi)似照相機(jī)照相。照相機(jī)拍攝的照片是印在底片上,而光刻刻的不是照片,而是電路圖和其他電子元件。
  掩模對(duì)準(zhǔn)光刻系統(tǒng)是一種精密的微細(xì)加工技術(shù)。常規(guī)光刻系統(tǒng)是采用波長(zhǎng)為2000~4500埃的紫外光作為圖像信息載體,以光致抗光刻技術(shù)蝕劑為中間(圖像記錄)媒介實(shí)現(xiàn)圖形的變換、轉(zhuǎn)移和處理,然后把圖像信息傳遞到晶片(主要指硅片)或介質(zhì)層上的一種工藝。
 
  在廣義上,掩模對(duì)準(zhǔn)光刻系統(tǒng)包括光復(fù)印和刻蝕工藝兩個(gè)主要方面:
  1、光復(fù)印工藝:經(jīng)曝光系統(tǒng)將預(yù)制在掩模版上的器件或電路圖形按所要求的位置,精確傳遞到預(yù)涂在晶片表面或介質(zhì)層上的光致抗蝕劑薄層上。
  2、刻蝕工藝:利用化學(xué)或物理方法,將抗蝕劑薄層未掩蔽的晶片表面或介質(zhì)層除去,從而在晶片表面或介質(zhì)層上獲得與抗蝕劑薄層圖形整體一致的圖形。集成電路各功能層是立體重疊的,因而掩模對(duì)準(zhǔn)光刻工藝總是多次反復(fù)進(jìn)行。例如,大規(guī)模集成電路要經(jīng)過(guò)約10次掩模對(duì)準(zhǔn)光刻才能完成各層圖形的全部傳遞。
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