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光學(xué)厚度測(cè)量?jī)x的光學(xué)模塊可容納所有光學(xué)部件：分光計(jì)、復(fù)合光源(壽命10000小時(shí))、高精度反射探頭。因此，在準(zhǔn)確性、重現(xiàn)性和長(zhǎng)期穩(wěn)定性方面保證了優(yōu)異的性能。

FR-InLine 是一款模塊化可擴(kuò)展的在線薄膜厚度測(cè)量?jī)x（膜厚儀），可進(jìn)行在線非接觸測(cè)量 3nm-1mm 厚度范圍內(nèi)的涂層。 FR-InLine 膜厚儀并可以依據(jù)各種不同應(yīng)用設(shè)置多個(gè)參數(shù)的實(shí)時(shí)測(cè)量，例如：反射率和透射率光譜、厚度、色座標(biāo)。 FR-InLine 膜厚儀測(cè)量軟件可以在標(biāo)準(zhǔn) Windws 10/11 中執(zhí)行。

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FR-Ultra是一種緊湊型設(shè)備，專門用于快速、準(zhǔn)確和無(wú)損測(cè)量半導(dǎo)體材料的厚/超厚層及透明層。

FR-ES 是一款輕巧便捷膜厚測(cè)量分析系統(tǒng)。

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